SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性,。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能,。

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）*的隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得*的測量重復(fù)性,；

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口,，便于用戶實時觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù),，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺階測量:重復(fù)性：0.1% 1σ,；準(zhǔn)確度：0.75%

SuperView W系列輪廓測量儀能對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。